金融界 2024 年 9 月 20 日音讯,天眼查知识产权信息数据显现,浙江朗德电子科技有限公司请求一项名为“一种无掩膜磁通门传感器芯片集成制作办法“,公开号 CN4.5,请求日期为 2024 年 8 月。
专利摘要显现,本请求触及 MEMS 集成微制作的技术领域,尤其是触及一种无掩膜磁通门传感器芯片集成制作办法,包含以下过程:获取待处理衬底,并在待处理面获取底层凹槽阵列以及底层导电铜膜,以构成底层线圈;在底层线圈的两头留出导电通孔;选用 3D 打印以获取磁芯放置凹槽,并持续保存导电通孔;选用电化学堆积增材 3D 打印纯铜填满导电通孔以构成铜衔接导体;选用 3D 打印构成顶层线圈的顶层凹槽阵列图形和顶层电极凹槽图形;选用电化学堆积增材 3D 打印纯铜以获取顶层铜膜,顶层铜膜填满顶层凹槽阵列,一起填满顶层电极凹槽构成铜电极,构成完好的无掩膜磁通门传感器芯片。本请求简化了制作工艺流程,缩短了制作周期,降低了芯片本钱。